基于RFID的无尘室FFU监控系统研究

李晓凤

中国海洋大学

摘要：

FFU(Fan Filter u nit)是处理无尘室洁净度的重要设备,其监控系统一直存在着许多显著缺陷,包括(1)线路复杂且数量多(2)施工不易(3)施工耗时(4)设置成本太高等问题。因此本课题探讨以无线的方式取代传统的作法,将微波式RFID系统运用于电子厂无尘室的FFU监控系统。　　而在文献当中得知多种无线应用,其中以微波式RFID系统(Microwave,2.4GHz)的无线技术具有(1)多重目标读取(2)通信距离长(3)成本低等优势。再赋予I/O接口传感功能,在监控的应用上更是取得显著的成效。　　本课题开发出一种新的微波式RFID传感应用,使用一个Reader对多个Tag通信,解决了传统仪器控制线路的限制。且因成本考虑,本课题选择RFID技术来进行验证。利用RFID引入的方法,发展原型设计、开发、测试等程序,结果验证微波式RFID引入FFU监控系统是可行的。　　本研究验证RFID于实际生产环境应用的可行性,通过RFID技术与FFU系统的整合,达到降低作业时间、提高生产效率:改善作业流程、精进制程自动化与监控分析、提供完整的FFU测试管理信息。藉由此信息应用系统,让公司能够做更实时之反应与监控,并可以使FFU监控信息传递更为实时与透明,改善供应链间晶圆质量不稳等问题,以提升产业的竞争力。

关键词：射频识别技术;风机过滤机组;监控系统;无线传感网络

授予单位：中国海洋大学

授予学位：硕士

学科专业：电子与通信工程

导师姓名：何波

学位年度：2011

语种：中文

分类号：TH772.9

页数：63

在线出版日期：2012-12-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）